真空镀膜设备需要在真空状态运作，因此高真空的设备，在工业状态下需要达到高真空度，这过程需要用抽气系统进行操作。在除了抽气系统外，在真空镀膜设备运行的过程中，还有一点就是，工件的除气。

一般有很多工件本身内部有着许多的空气和水分等，这些东西都会随着设备加热时被排放到真空室中，不能达到预计的真空效果，更有甚者，有些气体带有毒性成分，直接损害到真空室内部机械结构，造成设备不能正常运作。另外，在镀膜过程中，由于工件内气体加热膨胀，容易使已经镀上的膜层裂开，当然这个情况出现的机率视工件本身物理性质有关，像塑料等容易膨胀的，机率就比较高，像金属等硬质的，机率就比较低，但也不能忽视，因此工件的除气是非常必要的。

一般人们使用的工件除气方法是烘烤，依靠加热把工件内的气体、水分有效地排出，在镀膜前，抽气的同时，对工件进行加热，当工件内水分和气体由于加热而放出后，随着真空室内的气体一起被真空泵抽出。针对不同的工件采取不一样的除气措施，有效控制工件内部气体与水分排放，提高镀膜的稳定性和均匀性。